[发明专利]一种可视化射频阻抗匹配器无效
| 申请号： | 201210390287.4 | 申请日： | 2012-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102883517A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 孙小孟;李勇滔;李英杰;刘训春;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可视化 射频 阻抗 配器 | ||
【权利要求书】：
1.一种可视化射频阻抗匹配器，其特征在于，包括检测模块、控制模块、显示模块和阻抗匹配执行模块，所述检测模块分别与控制模块和阻抗匹配执行模块连接，所述控制模块与显示模块连接。
2.如权利要求1所述的可视化射频阻抗匹配器，其特征在于，所述检测模块包括互感器、幅值相位检测器和A/D转换器；所述互感器用于采集射频信号的电压信号、电流信号；所述幅值相位检测器用于检测所述电流信号和电压信号的幅值和相位；所述A/D转换器用于将所述电流信号和电压信号的幅值和相位转换为数字信号，传送至所述控制模块。
3.如权利要求2所述的可视化射频阻抗匹配器，其特征在于，所述控制模块用于根据所述检测模块采集的电压、电流信号值计算出当前时刻的阻抗值，并对所述阻抗值进行归一化为对应的Smith圆图的阻抗值，生成输入输出信号；所述显示模块包括显示屏，用于实时显示当前时刻阻抗值在Smith圆图上的位置。
4.如权利要求3所述的可视化射频阻抗匹配器，其特征在于，所述阻抗匹配执行模块包括第一可变电容、可调电感和第二可变电容，所述可调电感和第二可变电容串联后与所述第一可变电容并联。
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