[发明专利]连续电镀装置有效
| 申请号： | 201210367382.2 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103031588A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 野田朝裕 | 申请（专利权）人： | ALMEXPE株式会社 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/12;C25D17/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;王忠忠 |
| 地址： | 日本国栃*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供不使用多个分割阴极轨道地以与设定电流值相应的膜厚在各工件形成电镀覆膜的连续电镀装置。连续电镀装置，具有：电镀槽（10），容纳电镀液（11），同时地电镀沿输送路径连续输送的多个工件（W）；共同阴极电极（30），经由分别保持多个工件（W）的多个输送夹具（20）而与多个工件（W）电连接；多个分割阳极电极（40），在电镀槽（10）内与输送路径对置配置；以及多个电源（50），与多个分割阳极电极（40）的各一个和共同阴极电极（30）连接，分别独立地控制供给至多个分割阳极电极（40）的电流。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 电镀 装置 | ||
【主权项】：
一种连续电镀装置，其特征在于，具有：电镀槽，容纳电镀液，同时地电镀沿输送路径连续输送的多个工件；共同阴极电极，经由分别保持所述多个工件的多个输送夹具而与所述多个工件电连接；多个分割阳极电极，在所述电镀槽内与所述输送路径对置配置；以及多个电源，与所述多个分割阳极电极的各一个和所述共同阴极电极连接，分别独立地控制供给至所述多个分割阳极电极的电流。
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