[发明专利]连续电镀装置

权利要求书

1. 一种连续电镀装置，其特征在于，具有：

电镀槽，容纳电镀液，同时地电镀沿输送路径连续输送的多个工件；

共同阴极电极，经由分别保持所述多个工件的多个输送夹具而与所述多个工件电连接；

多个分割阳极电极，在所述电镀槽内与所述输送路径对置配置；以及

多个电源，与所述多个分割阳极电极的各一个和所述共同阴极电极连接，分别独立地控制供给至所述多个分割阳极电极的电流。

2. 如权利要求1所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个分割阳极电极的各个包括与所述多个工件的各个的第1面对置的第1电极和与所述多个工件的各个的第2面对置的第2电极。

3. 如权利要求2所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个电源的各个包括通电至所述第1电极的第1电源和通电至所述第2电极的第2电源，所述第1电源和所述第2电源分别独立地设定电流值。

4. 如权利要求1至3的任一项所述的连续电镀装置，其特征在于，

在将所述工件的沿所述输送方向的长度设为L1并将所述多个分割阳极电极的各个的沿所述输送方向的长度设为L2时，实质上满足L1=L2。

5. 如权利要求4所述的连续电镀装置，其特征在于，

按照批单位将所述多个工件供给至所述电镀槽，在同一批的最前的工件与所述多个分割阳极电极的各一个对置时，根据所述多个分割阳极电极的各一个和所述最前的工件对置的电解面积，所述多个电源的对应的各一个针对所述多个分割阳极电极的各一个而对电流值进行渐增控制，在同一批的最后的工件与所述多个分割阳极电极的各一个对置时，根据所述多个分割阳极电极的各一个和所述最后的工件对置的电解面积，所述多个电源的对应的各一个针对所述多个分割阳极电极的各一个而对电流值进行渐减控制。

6. 如权利要求1至3的任一项所述的连续电镀装置，其特征在于，

在将所述工件的沿所述输送方向的长度设为L1、将所述多个分割阳极电极的各个的沿所述输送方向的长度设为L2并将n设为2以上（包括该值）的整数时，满足L2＜L1/n。

7. 如权利要求6所述的连续电镀装置，其特征在于，

按照批单位将所述多个工件供给至所述电镀槽，

所述多个电源的各个从所述批单位的最初至最后对所述多个分割阳极电极的各个进行恒定电流控制。

8. 如权利要求6或7所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述电镀槽，在与所述多个工件的各一个对置的位置，沿所述输送方向设有朝向所述工件喷射所述电镀液的多个喷嘴，

将所述多个分割阳极电极中的至少各一个分割阳极电极配置于所述多个喷嘴中的相邻的各2个喷嘴之间。

9. 如权利要求8所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个分割阳极电极的各个，横剖面的轮廓为圆。