[发明专利]连续电镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及供电至在电镀槽内连续输送的工件并电镀工件的连续电镀装置。

背景技术

在本申请的申请人的专利文献1中，公开了使用共同阳极电极和分割阴极轨道的电流控制方法。该方法为，如专利文献1的图1所示，例如5个单元经由对应的5个分割阴极轨道（阴极中继部件）而供电至在电镀槽单元内连续输送的最大5个工件，从而成为一定的电流密度（A/dm²）。5个电源单元，在工件整面与共同阳极电极对置的全部浸渍状态下，以设定电流值进行恒定电流控制。而且，最上游的电源单元，根据与送入电镀槽内的部分浸渍状态的工件和共同阳极电极对置的电解面积，对电流进行渐增控制。最下游的电源单元，根据从电镀槽单元内送出的部分浸渍状态的工件和共同阳极电极对置的电解面积，对电流进行渐减控制。

这样，能够以针对每个工件而设定的电流值进行连续电镀，能够以与所设定的电流密度相应的膜厚在各工件形成均匀且高品质的电镀覆膜。

专利文献1：日本特开2009－132999号公报。

发明内容

在专利文献1中，有必要与电镀槽并列地配置分割阴极轨道，连续电镀槽装置的横宽增大。由此，装置的设置面积增大。

在专利文献1中，有必要以按照批单位流动的全部的工件作为对象而在部分浸渍状态下对电流值进行渐增或渐减控制，控制复杂化。

另外，如果将在电镀槽内成为全部浸渍状态的工件的数量设为N，那么，在电镀槽内的上游侧和下游侧成为部分浸渍状态的情况的工件数成为（N+1）。因而，分割阴极轨道和电源单元的数量分别需要成为（N+1）个。

本发明的几个方式能够提供不使用多个分割阴极轨道地以与设定电流值相应的膜厚在各工件形成电镀覆膜的连续电镀装置。

本发明的其他几个方式能够提供进一步使电源数减少的连续电镀装置。

本发明的再一个方式能够提供仅对批单位的最初和最后的工件进行电流值的渐增或渐减控制即可而没有必要进行以按照批单位流动的全部的工件作为对象的电流值的渐增或渐减控制的连续电镀装置。

本发明的再一个方式能够提供即使变更工件尺寸，也没有必要变更阳极电极且没有必要进行电流值的渐增或渐减控制的连续电镀装置。

（1）本发明的一个形态，涉及一种连续电镀装置，该装置具有：

电镀槽，容纳电镀液，同时地电镀沿输送路径连续输送的多个工件；

共同阴极电极，经由分别保持所述多个工件的多个输送夹具而与所述多个工件电连接；

多个分割阳极电极，在所述电镀槽内与所述输送路径对置配置；以及

多个电源，与所述多个分割阳极电极的各一个和所述共同阴极电极连接，分别独立地控制供给至所述多个分割阳极电极的电流。

依照本发明的一个形态，由于与现有技术不同地分割阳极电极，因而不需要与工件连接的分割阴极轨道，工件经由输送夹具而与共同阴极电极连接即可。因而，能够缩窄连续电镀装置的横宽。另外，由于与共同阴极电极连接的多个工件，相邻的工件彼此拥有微小的间隙地连续输送，因而在1个工件与分割阳极电极对置时和2个工件与分割阳极电极对置时，与一个分割阳极电极对置的工件的总电解面积大致相等。因而，在连续输送中，对分割阳极电极进行恒定电流控制即可。

（2）在本发明的一个形态中，能够是，所述多个分割阳极电极的各个包括与所述多个工件的各个的第1面对置的第1电极和与所述多个工件的各个的第2面对置的第2电极。这样的话，能够电镀工件的两面。

（3）在本发明的一个形态中，能够是，所述多个电源的各个包括通电至所述第1电极的第1电源和通电至所述第2电极的第2电源，所述第1电源和所述第2电源分别独立地设定电流值。

这样的话，在电镀对象面积在工件的两面不同的情况下，能够在工件的两面设定为不同的电流值。

（4）在本发明的一个形态中，能够是，在将所述工件的沿所述输送方向的长度设为L1并将所述多个阳极电极的各个的沿所述输送方向的长度设为L2时，实质上满足L1=L2。

如果将在电镀槽内成为全部浸渍状态的工件的数量设为N，那么，即使在电镀槽内的上游侧和下游侧成为部分浸渍状态的情况下配置于电镀槽内的工件总数成为（N+1），分割阳极电极和电源的数量也可以分别是N个，如果与像专利文献1那样需要（N+1）个电源的情况相比较，则能够使高价的电源的数量减少。即，实质上满足L1=L2，由此，能够使电源的必要个数成为最小限度。