[发明专利]一种提高蓝宝石研磨质量的方法无效
| 申请号： | 201210364618.7 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102916094A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 杨旅云;常志伟;张宇欣;张国龙;吴东平;陈晓鹏;薛进营;王明辉;夏成 | 申请（专利权）人： | 施科特光电材料（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种提高蓝宝石研磨质量的方法，先在蓝宝石衬底内部通过激光隐形切割技术得到一系列平行于蓝宝石衬底定位边的烧蚀图形，然后再对所述蓝宝石衬底进行研磨。由于烧蚀后蓝宝石衬底晶体结构被破坏，因此蓝宝石衬底背面受应力变化时，对蓝宝石衬底正面无相互力的作用，很大程度上降低了蓝宝石衬底因应力而发生形变的可能性。同时，烧蚀出的图形结构，增大了衬底在研磨过程中的散热面积，从另一个角度降低了热应力对蓝宝石衬底的作用。另因隐形切割脉冲聚焦图形的特性，使研磨速率呈现快—慢—快的变化规律，这在提高研磨速度的同时，也为散热提供了一定的缓冲时间。本发明能有效的提高蓝宝石衬底的研磨质量，提升产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 蓝宝石 研磨 质量 方法 | ||
【主权项】：
一种提高蓝宝石研磨质量的方法，其特征在于，先采用激光烧蚀技术于蓝宝石衬底内部形成具有预设排列及预设形状的烧蚀图形，然后再对所述蓝宝石衬底进行研磨。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于施科特光电材料（昆山）有限公司，未经施科特光电材料（昆山）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210364618.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
