[发明专利]笛卡尔机械臂群集工具架构

摘要

本发明提供一种使用多腔室制程系统来处理基材的方法及设备，该系统具有增加的产能、增强的系统可靠度、改善的器件合格率表现、可重复性更高的晶片制程历史、以及较小的占地面积(footprint)。该群集工具的各种实施例可使用以平行制程配置法配置的两个或多个机械臂，以在留置在所述制程架内的各个制程腔室间传送基材，因而可执行预期的制程程序。在一个方面中，该平行制程配置法包含两个或多个机械臂组件，该组件适于在垂直和水平方向上移动，以存取留置在所述制程架内的各个制程腔室。在一个实施例中，机械臂叶片适于限制基材，使得传送过程期间该基材所经历的加速不会使该机械臂叶片上的基材位置改变。

主权项

一种用于转移基材的设备，包括：基座，具有基材支撑表面；反应构件，设置在该基座上；接触构件，与适于将基材朝向该反应构件推动的促动器连接，以及制动构件，该制动构件在该接触构件经设置来将该基材朝向该反应构件推动时适于抑制该接触构件的移动。