[发明专利]薄膜晶体管阵列基板、其制造方法以及有机发光显示设备

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板、其制造方法以及有机发光显示设备。所述薄膜晶体管阵列基板可以包括：薄膜晶体管，包括有源层、栅电极、源电极、漏电极、被布置在有源层与栅电极之间的第一绝缘层以及被布置在栅电极与源电极和漏电极之间的第二绝缘层；像素电极，被布置在第一绝缘层上并且包括与栅电极相同的材料；电容器，包括与有源层布置在同一层上的第一电极和与栅电极布置在同一层上的第二电极；焊盘电极，被布置在第二绝缘层上并且包括与源电极和漏电极相同的材料；保护层，形成在焊盘电极上；以及第三绝缘层，形成在保护层上并且暴露像素电极。

主权项

一种薄膜晶体管阵列基板，包括：薄膜晶体管，包括有源层、栅电极、源电极、漏电极、第一绝缘层和第二绝缘层，所述第一绝缘层被布置在所述有源层与所述栅电极之间，所述第二绝缘层被布置在所述栅电极与所述源电极和所述漏电极之间；像素电极，被布置在所述第一绝缘层上并且包括与所述栅电极相同的材料；电容器，包括第一电极和第二电极，所述第一电极与所述有源层布置在同一层上，所述第二电极与所述栅电极布置在同一层上；焊盘电极，被布置在所述第二绝缘层上并且包括与所述源电极和所述漏电极相同的材料；保护层，形成在所述焊盘电极上；以及第三绝缘层，形成在所述保护层上并且暴露所述像素电极。