[发明专利]薄膜沉积设备在审
| 申请号： | 201210279825.2 | 申请日： | 2012-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN103074579A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 马浩烈;李载昱 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜沉积设备。该设备包括：沉积源，其存储沉积材料并将沉积材料排放到玻璃面板上；温度控制器，其设置成邻近玻璃面板，并控制玻璃面板的温度或玻璃面板附近区域的温度；以及隔间，其包含沉积源和温度控制器。温度控制器将玻璃面板和玻璃面板附近区域的温度维持在适当温度，从而引导沉积材料有效率地沉积到玻璃面板上，因此提高了形成在玻璃面板上的薄膜的沉积效率和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种薄膜沉积设备，包括：至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到玻璃面板上；至少一个温度控制器，设置成邻近所述玻璃面板，以控制所述玻璃面板的温度或所述玻璃面板的附近区域的温度；以及至少一个隔间，每个所述隔间均包含沉积源和所述温度控制器。
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