[发明专利]薄膜沉积设备

权利要求书

1.一种薄膜沉积设备，包括：

至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到玻璃面板上；

至少一个温度控制器，设置成邻近所述玻璃面板，以控制所述玻璃面板的温度或所述玻璃面板的附近区域的温度；以及至少一个隔间，每个所述隔间均包含沉积源和所述温度控制器。

2.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其中，所述温度控制器包括：

冷却/加热件，设置成邻近所述玻璃面板；以及

温度控制单元，控制所述冷却/加热件的温度。

3.根据权利要求2所述的薄膜沉积设备，其中，所述沉积源设置在所述隔间的底表面上，并且所述冷却/加热件设置在所述隔间的顶表面下方，

其中，所述玻璃面板设置在所述沉积源与所述冷却/加热件之间。

4.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述冷却/加热件的面积对应于所述隔间的顶表面的面积。

5.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述冷却/加热件的长度对应于所述隔间的长度或宽度。

6.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述冷却/加热件的面积对应于所述玻璃面板的面积。

7.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述冷却/加热件的长度对应于所述述玻璃面板的长度或宽度。

8.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述薄膜沉积设备包括数量设置成与所述冷却/加热件的数量相对应的沉积源。

9.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，为了降低所述玻璃面板或所述玻璃面板的所述附近区域的温度，在所述温度控制单元的控制下对所述冷却/加热件进行冷却，并且为了提高所述玻璃面板或所述玻璃面板的所述附近区域的温度，利用所述隔间的大气中所产生的热。

10.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，为了降低所述玻璃面板或所述玻璃面板的所述附近区域的温度，在所述温度控制单元的控制下对所述冷却/加热件进行冷却，并且为了提高所述玻璃面板或所述玻璃面板的所述附近区域的温度，在所述温度控制单元的控制下对所述冷却/加热件进行加热。

11.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述冷却/加热件由多个冷却/加热件子单元组成，每个所述冷却/加热件子单元的温度是可调整的。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜沉积设备，其中，所述温度控制器将所述玻璃面板或所述玻璃面板的所述附近区域的温度维持在70℃或更低。

13.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜沉积设备，进一步包括：

至少一个温度传感器，设置在所述隔间中，所述温度传感器感测所述玻璃面板或所述玻璃面板的所述附近区域的温度。

14.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜沉积设备，进一步包括：

至少一个喷嘴单元，连接至所述沉积源，所述喷嘴单元包括多个喷嘴，使得所述沉积材料通过所述喷嘴排放到所述玻璃面板上。

15.根据权利要求14所述的薄膜沉积设备，其中，所述喷嘴单元相对于所述玻璃面板的距离能够调节。

16.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，进一步包括：

至少一个喷嘴单元，连接至所述沉积源，所述喷嘴单元包括多个喷嘴，使得所述沉积材料通过所述喷嘴排放到所述玻璃面板上，

其中，所述冷却/加热件的长度对应于所述喷嘴单元的长度。

17.根据权利要求16所述的薄膜沉积设备，其中，所述喷嘴单元能够调节相对于所述玻璃面板的距离。

18.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜沉积设备，其中，所述薄膜沉积设备包括顺序地一个接一个地以直线型布置方式连接的多个隔间。

19.根据权利要求18所述的薄膜沉积设备，其中，各个隔间的各个沉积源存储不同种类的沉积材料。