[发明专利]薄膜沉积设备

说明书

技术领域

本发明总体涉及具有改进的沉积效率的薄膜沉积设备，更具体地涉及这样一种薄膜沉积设备，在该薄膜沉积设备中，维持玻璃面板或玻璃面板附近区域的适当温度的温度控制器设置在一隔间（booth）中，从而沉积材料能够高效地沉积到玻璃面板上，并且改善了形成在玻璃面板的沉积表面上的薄膜的均匀度。

背景技术

通常，有机发光二极管（OLED）是作为下一代显示装置而引起广泛关注的自发光装置。OLED具有很多优点，诸如，比相片（photograph）质量更高的图像质量、宽视角、几乎没有死视角、减小为LCD的1/3的厚度、低功耗以及大约是LCD的1/1000的快速响应时间。因此，利用OLED来产生高质量的视频等。

在具有上述特征的OLED中，空穴从阳极传输至空穴传输层，而电子从阴极传输至电子传输层。空穴和电子在设置于空穴传输层与电子传输层之间的发光层中彼此重新结合，从而产生电子空穴对（激子）。得自于电子空穴对的能量产生特定波长的光。

典型地，有机薄膜层（诸如空穴传输层、发光层、电子传输层等）的形成包括在高真空隔间中使坩埚（crucible）中所包含的有机材料蒸发以及将蒸发的有机材料沉积到玻璃面板上。例如，如图1所示，将有机材料供应到沉积源13中，沉积源13包括其中储存有有机材料的坩埚以及用于加热坩埚的加热装置（诸如加热器等）。在将有机材料放置在其中之后，对有机材料进行加热。然后，将蒸发的有机材料沉积到位于高真空隔间中的玻璃面板11上。但是，在这种沉积方法中，难以提高沉积效率，因为这是一种利用蒸发的有机材料的自由移动的随机沉积方法。在克服上述问题的尝试中，所采用的方法是，利用较大的坩埚来提高有机材料的蒸发速度，或者利用具有多个喷嘴的线性或平面的沉积源。但是，由于很难保持有机材料的蒸发速度恒定，所以形成在玻璃面板的中心部位上的薄膜的厚度可能不同于形成在玻璃面板的周缘部位上的薄膜的厚度。尤其是，在近来使用的大尺寸玻璃面板的情况下，形成在玻璃面板的沉积表面上的薄膜的均匀性进一步降低。典型地，所沉积的有机材料膜的厚度必须在200至2000的范围内，并且厚度的均匀性必须为5%或更小。

为了解决传统技术中的上述问题，在题为“Evaporator and vacuum deposition apparatus having the same（蒸发器及具有该蒸发器的真空沉积设备）”的韩国专利公开出版物第10-2011-0024223号（2011年3月9日）（专利文献1）中提出了一种设备。具体地，在专利文献1的设备中，隔离板360设置在坩埚罩320上方，并且在隔离板360中或在其表面上设置有冷却装置（诸如冷却水通道等），从而隔离从沉积源传输到玻璃面板的热量，进而提高沉积在玻璃面板上的薄膜的均匀性，并减少有机材料的损失（参照专利文献1的图9以及第[0007]、[0049]和[0050]段）。

但是，在专利文献1的沉积设备中，沉积源的附近区域的温度下降，从而降低了有机材料的蒸发速度。此外，必须增大加热器的能力（capacity），以使沉积效率保持在较高值。这使得难以控制加热器的温度使其均衡。而且，即使有机材料的蒸发速率被适当控制，但也不容易在隔离板中或隔离板上安装冷却装置，也不容易控制该冷却装置。

在题为“Linear apparatus for manufacturing large-sized organic devices using downward-orientated heat-induced deposition（利用向下定向的热传导沉积来制造大尺寸有机装置的线性设备）”的韩国专利公开出版物第10-2007-0038640号（2007年4月11日）（专利文献2）中提出了关于沉积技术的另一种设备。具体地，专利文献2的设备被构造成使得金属基板21与连接至冷却器55的冷却装置54接触，从而冷却装置54吸收来自金属基板21的热能，进而冷却金属基板21（参照专利文献2的图8及其第5页第2段）。

但是，在专利文献2的沉积设备中，冷却装置与基板的一部分直接接触，造成基板的温度分布不均衡。因此，形成在基板上的薄膜的均匀性相当差。

[现有技术文献]

[专利文献]

1.韩国专利公开出版物第10-2011-0024223号（2011年3月9日）

2.韩国专利公开出版物第10-2007-0038640号（2007年4月11日）

发明内容