[发明专利]一种传感器的制造方法

摘要

本发明公开了一种传感器的制造方法，包括：在衬底基板上通过一次构图工艺形成偏压线的图形；通过一次构图工艺形成透明电极的图形、光电二极管的图形、接收电极的图形、源极的图形、漏极的图形、数据线的图形和欧姆层的图形；通过一次构图工艺形成有源层的图形、第一钝化层、栅极的图形和栅线的图形。本发明方法对比于现有技术，减少了掩模板的使用数量，降低了制造成本，简化了生产工艺，大大提升了设备产能及产品的良品率。

主权项

一种传感器的制造方法，其特征在于，包括：在衬底基板上通过一次构图工艺形成偏压线的图形；通过一次构图工艺形成位于偏压线之上、与偏压线导电接触的透明电极的图形，位于透明电极之上的光电二极管的图形，位于光电二极管之上的接收电极的图形、与接收电极连接的源极的图形和与源极相对而置形成沟道的漏极的图形，以及，与漏极连接的数据线的图形和位于源极和漏极之上的欧姆层的图形；通过一次构图工艺形成位于欧姆层和沟道之上的有源层的图形、位于有源层之上并覆盖基板的第一钝化层，以及位于第一钝化层之上、沟道上方的栅极的图形和与栅极连接的栅线的图形。