[发明专利]静电保护结构有效

专利信息
申请号: 201210253787.3 申请日: 2012-07-20
公开(公告)号: CN103579218A 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: 王邦麟;苏庆 申请(专利权)人: 上海华虹NEC电子有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 丁纪铁
地址: 201206 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种静电保护结构,包括:N+/P阱二极管和多晶硅二极管;N+/P阱二极管其P阱通过P+扩散区连接地电位,其N+扩散区通过金属连线与多晶硅二极管的矩形P+扩散区相连;多晶硅二极管包括:形成在P-多晶硅衬底上的两个P+扩散区和两个N+扩散区;所述P+扩散区分列于所述N+扩散区两侧,其中一P+扩散区为矩形,另一P+扩散区呈阶梯形结构;所述N+扩散区通过金属连线并连后接电源电位,所述阶梯形P+扩散区通过金属连线接输出/入端口。本发明相比较现有的二极管静电保护结构,能减小输出/入端口到电源与地之间的总电容,减小静电保护结构对高射频电路工作性能的影响,适应射频电路的设计需求。
搜索关键词: 静电 保护 结构
【主权项】:
一种静电保护结构,其特征是,包括:一N+/P阱二极管和一多晶硅二极管;所述N+/P阱二极管其P阱通过P+扩散区连接地电位,其N+扩散区通过金属连线与所述多晶硅二极管的一矩形P+扩散区相连;所述多晶硅二极管包括:形成在P‑多晶硅衬底上的两个P+扩散区和两个N+扩散区;所述P+扩散区分列于所述N+扩散区两侧,其中一P+扩散区为矩形,另一P+扩散区呈由靠近N+扩散区向远离N+扩散区方向宽度逐渐增加的阶梯形结构;所述N+扩散区在靠近阶梯形P+扩散区的一侧形成与阶梯形P+扩散区相对应的阶梯形结构;所述N+扩散区通过金属连线并连后接电源电位,所述阶梯形P+扩散区通过金属连线接输出/入端口。
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