[发明专利]抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法

摘要

本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R¹、A¹、A¹³、A¹⁴、X¹²、R^II1、R^II2、L^II1、Y^II1、R^II3、R^II4、R^II5、R^II6、R^II7、n、s和R^II8如说明书中限定。

主权项

1.一种抗蚀剂组合物，所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R¹表示氢原子或甲基；A¹表示C₁至C₆烷二基；A¹³表示任选具有一个或多个卤素原子的C₁至C₁₈二价脂肪族烃基；X¹²表示*-CO-O-或*-O-CO-；*表示与A¹³的连接；A¹⁴表示任选具有一个或多个卤素原子的C₁至C₁₇脂肪族烃基；其中R^II1和R^II2独立地表示氟原子或C₁至C₆全氟烷基；L^II1表示单键、C₁至C₆烷二基、C₄至C₈二价脂环烃基、-(CH₂)_t-CO-O-*或-(CH₂)_t-CO-O-CH₂-(CH₂)_u-*，所述烷二基、-(CH₂)_t-CO-O-*或-(CH₂)_t-CO-O-CH₂-(CH₂)_u-*中含有的一个或多个-CH₂-可以被-O-代替；t表示1至12的整数；u表示0至12的整数；*表示与Y^II1的连接；Y^II1表示任选被取代的C₃至C₁₈脂环烃基，并且所述脂环烃基中含有的一个或多个-CH₂-可以被-O-、-CO-或-SO₂-代替；R^II3、R^II4、R^II5、R^II6和R^II7独立地表示氢原子、羟基、C₁至C₆烷基、C₁至C₆烷氧基、C₂至C₇烷氧基羰基或C₂至C₁₂酰氧基，阳离子的含硫环中所含有的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替；n表示1至3的整数；s表示0至3的整数；并且R^II8在每一次出现时均独立地表示C₁至C₆烷基。