[发明专利]一种垂直磁记录材料的制备方法

摘要

本发明涉及新材料技术领域，具体涉及一种垂直磁记录材料的制备方法，得到的最终产品的c轴分散角<3°，各项性能得到显著提高。首先选取MgO（111）单晶作为基板，将经充分清洁后的MgO（111）基板放至磁控溅射设备的真空腔内，然后向磁控溅射设备的真空腔内充入氩气，调整氩气流量，得到以RuCr作为下底层的MgO(111)单晶基板；在CoW复合靶材上粘贴纯Pt金属片，制成CoWPt复合靶材，然后将溅射得到的以RuCr作为下底层的MgO(111)单晶基板移至CoWPt复合靶材处，在磁控溅射设备中通入氩气，得到最终产品CoWPt/RuCr/MgO材料，其磁晶各向异性能为4.2～6.1×106erg/cc。

主权项

一种垂直磁记录材料的制备方法，其特征在于按如下步骤进行：（1）基板选择：选取MgO（111）单晶作为基板，将其放入装有丙酮的超声波容器中清洗1min后脱脂，再用棉棒蘸酒精轻擦基板表面，随后再次将基板放入装有丙酮的超声波容器中清洗3min，最后将基板放入装有酒精的超声波容器中清洗3min后，取出吹干；（2）基板预热：将经充分清洁后的MgO（111）基板放至磁控溅射设备的真空腔内，抽真空，通电加热至300℃，烘烤1h，然后冷却2h，并继续保持真空状态；（3）下底层成分调整：首先在纯金属Ru靶上粘贴纯Cr金属片作为RuCr复合靶材，然后向磁控溅射设备的真空腔内充入氩气，调整氩气流量，将溅射压力调节为5~10mTorr，其溅射电压为240V，溅射电流为30mA，得到以RuCr作为下底层的MgO(111)单晶基板；（4）磁性层薄膜的制备：在CoW复合靶材上粘贴纯Pt金属片，制成CoWPt复合靶材，然后将溅射得到的以RuCr作为下底层的MgO(111)单晶基板移至CoWPt复合靶材处，在磁控溅射设备中通入氩气，在RuCr下底层上溅射CoWPt磁性薄膜，溅射电压240V，溅射电流30mA，溅射压力为5～10mTorr，得到最终产品CoWPt/RuCr/MgO材料。