[发明专利]ESD保护系统及X射线平板探测器有效
| 申请号: | 201210225073.1 | 申请日: | 2012-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN103296012A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
| 发明(设计)人: | 黄忠守;夏军;肖文文;金利波 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60;H01L29/06;H01L29/786;H01L27/02;H01L27/146 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
| 地址: | 201201 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 一种ESD保护系统及X射线平板探测器,所述ESD保护系统包括ESD泄露母线及一端与ESD泄露母线连接的ESD保护电路,ESD保护电路至少包括一对以背靠背方式连接在一起的非晶硅薄膜晶体管,一对非晶硅薄膜晶体管的沟道正上方覆盖有第一遮光层。将该ESD保护系统应用于X射线平板探测器时,在X射线平板探测器的使用过程中不会产生光生电流,减少了光生电流对扫描线电压造成的影响,从而减少电子图像波动、噪声及驱动功耗的浪费;另外,将所述第一遮光层连接到固定负电位时,能在保证ESD保护电路具有较小阈值电压的同时,又能抑制ESD保护电路中的漏电流,进而能防止X射线平板探测器存在较大驱动功耗的浪费。 | ||
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【主权项】:
一种ESD保护系统,其特征在于,包括:形成在基板上的ESD泄露母线;形成在所述基板上并具有第一及第二接线端的ESD保护电路,所述第一接线端与所述ESD泄露母线连接,所述ESD保护电路至少包括一对非晶硅薄膜晶体管,所述一对非晶硅薄膜晶体管包括以背靠背方式连接的第一及第二非晶硅薄膜晶体管,所述第一及第二非晶硅薄膜晶体管的沟道正上方覆盖有第一遮光层。
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