[发明专利]太阳能电池生产线硅片自动传输系统有效
| 申请号: | 201210200726.0 | 申请日: | 2012-06-18 |
| 公开(公告)号: | CN102738050A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
| 发明(设计)人: | 陈特超;毛朝斌;张宝峰;刘良玉 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
| 地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种太阳能电池生产线硅片自动传输系统,用于晶体硅太阳能电池片的生产线领域。为了解决现有生产线全手动转运硅片易损坏硅片或污染硅片的问题,所述硅片自动传输系统包括机架,安装在机架上用于在各工序之间传送硅片的主传送机构,用于在同一工序中各工位间传送硅片的横向传送机构;所述横向传送机构的一端位于主传送机构内,该横向传送机构的另一端位于相应工位设备机械手的下方。采用本发明的自动传输系统后,可减少太阳能电池生产线上人为因素的影响,节约成本,提高生产效率,更进一步地,可实现整线的无人值守生产,满足了晶体硅太阳能电池片生产线的全自动生产要求。 | ||
| 搜索关键词: | 太阳能电池 生产线 硅片 自动 传输 系统 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池生产线自动传输系统,其特征是,包括机架(13),安装在机架(13)上用于在各工序之间传送硅片的主传送机构(1),用于在同一工序中各工位间传送硅片的横向传送机构(2);所述横向传送机构(2)的一端位于主传送机构(1)内,该横向传送机构(2)的另一端位于相应工位设备机械手的下方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





