[发明专利]太阳能电池生产线硅片自动传输系统有效

专利信息
申请号: 201210200726.0 申请日: 2012-06-18
公开(公告)号: CN102738050A 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: 陈特超;毛朝斌;张宝峰;刘良玉 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 马强
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 太阳能电池 生产线 硅片 自动 传输 系统
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池生产线自动传输系统,其特征是,包括机架(13),安装在机架(13)上用于在各工序之间传送硅片的主传送机构(1),用于在同一工序中各工位间传送硅片的横向传送机构(2);所述横向传送机构(2)的一端位于主传送机构(1)内,该横向传送机构(2)的另一端位于相应工位设备机械手的下方。

2.根据权利要求1所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述主传送机构(1)由呈直线布置的多节传送单元串联而成,每节传送单元具有一个驱动系统。

3.根据权利要求2所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述每节传送单元包括主动轴(5)、从动轴(7)和装在主动轴(5)与从动轴(7)上的皮带(6),所述主动轴(5)与一电机(4)相联。

4.根据权利要求3所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述传送单元的皮带(6)一侧设有张紧轮(8)和压紧轮(9)。

5.根据权利要求3所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述传送单元的皮带(6)具有上、下层结构,上层的皮带(6)用于传送硅片,下层的皮带(11)用于传回空的硅片托盘(3)。

6.根据权利要求1所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述横向传送机构(2)与主传送机构(1)正交布置。

7.根据权利要求1所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述机架(13)上装有气缸(12),该气缸(12)的另一端与横向传送机构(2)的底板(14)相连。

8.根据权利要求1所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述横向传送机构(2)包括主动轴(16),从动轴(18),装在主动轴(16)和从动轴(18)上的皮带(17),所述主动轴(16)与一电机(15)相联。

9.根据权利要求8所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述横向传送机构(2)的皮带(17)一侧设有张紧轮(19)。

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