[发明专利]太阳能电池生产线硅片自动传输系统有效
| 申请号: | 201210200726.0 | 申请日: | 2012-06-18 |
| 公开(公告)号: | CN102738050A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
| 发明(设计)人: | 陈特超;毛朝斌;张宝峰;刘良玉 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
| 地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 太阳能电池 生产线 硅片 自动 传输 系统 | ||
1.一种太阳能电池生产线自动传输系统,其特征是,包括机架(13),安装在机架(13)上用于在各工序之间传送硅片的主传送机构(1),用于在同一工序中各工位间传送硅片的横向传送机构(2);所述横向传送机构(2)的一端位于主传送机构(1)内,该横向传送机构(2)的另一端位于相应工位设备机械手的下方。
2.根据权利要求1所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述主传送机构(1)由呈直线布置的多节传送单元串联而成,每节传送单元具有一个驱动系统。
3.根据权利要求2所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述每节传送单元包括主动轴(5)、从动轴(7)和装在主动轴(5)与从动轴(7)上的皮带(6),所述主动轴(5)与一电机(4)相联。
4.根据权利要求3所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述传送单元的皮带(6)一侧设有张紧轮(8)和压紧轮(9)。
5.根据权利要求3所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述传送单元的皮带(6)具有上、下层结构,上层的皮带(6)用于传送硅片,下层的皮带(11)用于传回空的硅片托盘(3)。
6.根据权利要求1所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述横向传送机构(2)与主传送机构(1)正交布置。
7.根据权利要求1所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述机架(13)上装有气缸(12),该气缸(12)的另一端与横向传送机构(2)的底板(14)相连。
8.根据权利要求1所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述横向传送机构(2)包括主动轴(16),从动轴(18),装在主动轴(16)和从动轴(18)上的皮带(17),所述主动轴(16)与一电机(15)相联。
9.根据权利要求8所述太阳能电池生产线硅片自动传输系统,其特征是,所述横向传送机构(2)的皮带(17)一侧设有张紧轮(19)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





