[发明专利]一种硅片运动式制绒装置有效
| 申请号： | 201210200713.3 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN102737982A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 陈特超;李克;林伯奇 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片运动式制绒装置，为了解决现有制绒时硅片上绒面不均匀的问题，所述硅片运动式制绒装置包括装在制绒槽体壁面上的转轴托架，所述转轴托架上安装有转轴，该转轴上装有至少一个用于支撑花篮的偏心轮，所述转轴与一驱动该转轴旋转的驱动装置相联。本发明在腐蚀液温度、浓度均匀一致的条件下，就可在硅片表面制出大小一致的绒面来，提高片内的绒面均匀性，也有利于提高太阳能电池的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 运动 式制绒 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片运动式制绒装置，其特征是，包括装在制绒槽体（9）壁面上的转轴托架（10），所述转轴托架（10）上安装有转轴（11），该转轴（11）上装有至少一个用于支撑花篮（8）的偏心轮（12），所述转轴（11）与一驱动该转轴（11）旋转的驱动装置相联。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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