[发明专利]一种硅片运动式制绒装置有效
| 申请号： | 201210200713.3 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN102737982A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 陈特超;李克;林伯奇 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 运动 式制绒 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片运动式制绒装置，其特征是，包括装在制绒槽体（9）壁面上的转轴托架（10），所述转轴托架（10）上安装有转轴（11），该转轴（11）上装有至少一个用于支撑花篮（8）的偏心轮（12），所述转轴（11）与一驱动该转轴（11）旋转的驱动装置相联。
2.根据权利要求1所述硅片运动式制绒装置，其特征是，所述驱动装置的结构为，包括装在制绒槽体（9）上的电机支座（1），该电机支座（1）上装有电机（2），所述电机（2）的输出轴上装有主动链轮，该主动链轮通过链条与装在转轴（11）上的从动链轮相联。
3.根据权利要求1所述硅片运动式制绒装置，其特征是，所述驱动装置的结构为，包括装在制绒槽体（9）上的电机支座（1），该电机支座（1）上装有电机（2），所述电机（2）的输出轴上装有主动轮，该主动轮通过皮带与装在转轴（11）上的从动轮相联。
4.根据权利要求2或3所述硅片运动式制绒装置，其特征是，所述电机（2）的输出轴上装有加长轴（4），支撑该加长轴（4）的轴套（3）固定在制绒槽体（9）上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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