[发明专利]改进的多晶织构组合物和方法有效
| 申请号： | 201210195828.8 | 申请日： | 2012-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN102839377A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | R·K·巴尔;C·欧康纳 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;C09K13/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于织构多晶半导体的水溶性酸性组合物，其包括碱性化合物，氟化物离子和氧化剂。还提供了一种织构方法。织构后的多晶半导体具有减小的光入射反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 多晶 组合 方法 | ||
【主权项】：
一种组合物，包括一种或多种碱性化合物，一种或多种氟化物离子源，一种或多种氧化剂源，并且pH小于7。
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