[发明专利]电路板显影电镀蚀刻设备

摘要

本发明公开一种电路板显影电镀蚀刻设备，其适于对曝光后的电路板进行显影、电镀及蚀刻制作工艺。电路板显影电镀蚀刻设备包括多个槽单元及移动单元。槽单元包括显影槽、第一水洗槽、酸洗槽、第二水洗槽、电镀槽、第三水洗槽、剥离槽、第四水洗槽、蚀刻槽、第五水洗槽及干燥槽，且此些槽单元依上述顺序彼此接连。移动单元夹持曝光后的电路板，以使曝光后的电路板依序经由显影槽、第一水洗槽、酸洗槽、第二水洗槽、电镀槽、第三水洗槽、剥离槽、第四水洗槽、蚀刻槽、第五水洗槽以及干燥槽，而完成显影、电镀及蚀刻制作工艺。

主权项

一种电路板显影电镀蚀刻设备，适于对一曝光后的电路板进行显影、电镀及蚀刻制作工艺，该电路板显影电镀蚀刻设备包括：多个槽单元，该些槽单元包括：显影槽，以对该曝光后的电路板进行一显影步骤，而形成一图案化光致抗蚀剂层；第一水洗槽，连接该显影槽；酸洗槽，连接该第一水洗槽；第二水洗槽，连接该酸洗槽；电镀槽，连接该第二水洗槽；第三水洗槽，连接该电镀槽；剥离槽，连接该第三水洗槽，以移除该图案化光致抗蚀剂层；第四水洗槽，连接该剥离槽；蚀刻槽，连接该第四水洗槽；第五水洗槽，连接该蚀刻槽；及干燥槽，连接该第五水洗槽；以及移动单元，夹持该曝光后的电路板，以使该曝光后的电路板依序经由该显影槽、该第一水洗槽、该酸洗槽、该第二水洗槽、该电镀槽、该第三水洗槽、该剥离槽、该第四水洗槽、该蚀刻槽、该第五水洗槽以及该干燥槽，而完成显影、电镀及蚀刻制作工艺。