[发明专利]天线单元、基板处理装置和基板处理方法有效
| 申请号： | 201210177078.1 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102810446A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 金炯俊;禹亨济 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01Q3/01;H01Q1/12;H01Q21/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;武玉琴 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了天线单元、基板处理装置和基板处理方法。所述基板处理装置包括：具有内部空间的处理腔室；布置于所述处理腔室内并支撑着基板的基板支撑部；将处理气体提供到所述处理腔室内的气体供给部；天线，所述天线被配置用来将高频电提供到所述处理腔室内从而激发所述处理腔室内的所述处理气体；以及改变所述天线的尺寸的驱动部。 | ||
| 搜索关键词： | 天线 单元 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，所述基板处理装置包括：处理腔室，所述处理腔室具有内部空间；基板支撑部，所述基板支撑部布置于所述处理腔室内并且支撑着基板；气体供给部，所述气体供给部将处理气体提供到所述处理腔室内；天线，所述天线被配置用来将高频电提供到所述处理腔室内从而激发所述处理腔室内的所述处理气体；以及驱动部，所述驱动部改变所述天线的尺寸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于细美事有限公司，未经细美事有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210177078.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：降低微负载效应的方法
- 下一篇：磁铁以及使用所述磁铁的磁检测装置
