[发明专利]具有氧化涂层的抗腐蚀、含钇金属的等离子体室部件

摘要

本发明涉及具有氧化涂层的抗腐蚀、含钇金属的等离子体室部件，描述一种可抵抗由化学活性等离子体所导致的侵蚀或腐蚀的物体以及制造该物体的方法。该物体包括金属或金属合金衬底，该衬底的表面上具有涂层，且该涂层为金属或金属合金的氧化物。该氧化物涂层的结构在本质上为柱状。构成氧化物的结晶的晶粒尺寸在氧化物涂层的暴露表面处比氧化物涂层与金属或金属合金衬底之间的界面处大，其中氧化物涂层在氧化物涂层与金属或金属合金衬底之间的界面处呈压迫状态。一般来说，金属选自由钇、钕、钐、铽、镝、铒、镱、钪、铪、铌、或其组合所组成的群组。

主权项

一种制造物体的方法，所述物体具有金属或金属合金衬底，所述方法包括：在所述金属或金属合金衬底的表面上形成氧化物涂层，其中使用热氧化处理形成所述氧化物涂层，其中所述热氧化处理包括：使用时间温度分布将所述金属或金属合金衬底暴露于包括氧的周围环境保持一段时间；所述时间温度分布包括：初始快速地加热所述金属或金属合金衬底至期望的最高温度；在所述最高温度段将所述衬底保持标称时间；以及逐渐降低所述衬底的温度，直到所述氧化物涂层的形成速率实质停止为止，其中所述金属或金属合金包括钇、钕、钐、铽、镝、铒、镱、钪、铪、铌、或其组合。