[发明专利]具有氧化涂层的抗腐蚀、含钇金属的等离子体室部件

权利要求书

1.一种制造物体的方法，所述物体具有金属或金属合金衬底，所述方法包括：

在所述金属或金属合金衬底的表面上形成氧化物涂层，其中使用热氧化处理形成所述氧化物涂层，其中所述热氧化处理包括：使用时间温度分布将所述金属或金属合金衬底暴露于包括氧的周围环境保持一段时间；所述时间温度分布包括：初始快速地加热所述金属或金属合金衬底至期望的最高温度；在所述最高温度段将所述衬底保持标称时间；以及逐渐降低所述衬底的温度，直到所述氧化物涂层的形成速率实质停止为止，其中所述金属或金属合金包括钇、钕、钐、铽、镝、铒、镱、钪、铪、铌、或其组合。

2.如权利要求1所述的制造物体的方法，其中初始快速加热的速率为约20℃/分～约100℃/分。

3.如权利要求2所述的制造物体的方法，其中所述衬底所保持的所述最高温度为约700℃～约1050℃。

4.如权利要求3所述的制造物体的方法，其中所述衬底保持在所述最高温度的所述段时间为约5分～约5小时。

5.如权利要求4所述的制造物体的方法，其中由所述最高温度而降低温度的速率为约10℃/分～约0.5℃/分，直到氧化反应实质停止为止。

6.如权利要求5所述的制造物体的方法，其中所述氧化反应实质停止的温度为约400℃～约100℃。

7.如权利要求6所述的制造物体的方法，其中在所述氧化反应终止之后，所述衬底以约25℃/分～约35℃/分的冷却速率而快速地冷却至周围温度。

8.如权利要求3所述的制造物体的方法，其中所述金属或金属合金包括钇，且其中添加掺杂剂，所述掺杂剂选自由镁、铝、铜、钙及其组合所组成的群组。