[发明专利]绝缘栅双极型晶体管及其制造方法在审
| 申请号: | 201210163198.6 | 申请日: | 2012-05-22 |
| 公开(公告)号: | CN102683404A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
| 发明(设计)人: | 苟鸿雁;唐树澍 | 申请(专利权)人: | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/47;H01L21/331 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
| 地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法。所述绝缘栅双极型晶体管包括:缓冲层;位于缓冲层上的漂移层;位于漂移层上的发射极层和源极层,所述发射极层与源极层通过发射极金属电极相连;位于漂移层和发射极层上的绝缘栅极层,所述绝缘栅极层与漂移层和发射极层通过栅极氧化层相互隔离;位于绝缘栅极层和源极层上的绝缘层,所述绝缘栅极层和发射极金属电极通过绝缘层相互隔离;位于缓冲层内的集电极层,所述集电极层包括至少一个掺杂区,所述掺杂区与缓冲层的掺杂类型相反;位于缓冲层下的集电极金属电极,所述集电极金属电极与所述缓冲层、所述集电极层的掺杂区均相互接触。本发明可以提高绝缘栅双极型晶体管的关断速度并降低其关断损耗。 | ||
| 搜索关键词: | 绝缘 栅双极型 晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,包括:缓冲层;位于缓冲层上的漂移层;位于漂移层上的发射极层和源极层,所述发射极层与源极层通过发射极金属电极相连;位于漂移层和发射极层上的绝缘栅极层,所述绝缘栅极层与漂移层和发射极层通过栅极氧化层相互隔离;位于绝缘栅极层和源极层上的绝缘层,所述绝缘栅极层和发射极金属电极通过绝缘层相互隔离;位于所述缓冲层内的集电极层,所述集电极层包括至少一个掺杂区,所述掺杂区与缓冲层的掺杂类型相反;位于所述缓冲层下的集电极金属电极,所述集电极金属电极与所述缓冲层、所述集电极层的掺杂区均相互接触。
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