[发明专利]加速度传感器以及加速度检测装置

摘要

本发明涉及一种加速度传感器以及加速度检测装置，其加速度检测灵敏度、加速度检测精度较高。加速度检测元件(10)具备加速度检测部(20)、第一被固定部(14a)以及第二被固定部(14c)、将第一被固定部(14a)以及第二被固定部(14c)分别连结于加速度检测部(20)的第一至第四梁(12a～12d)，支承基板(4)具备固定侧的第一基板片(5)、可动侧的第二基板片(7)、和对第一基板片(5)和第二基板片(7)进行连结的铰链部(8)，加速度检测元件(10)的长边方向沿着与检测轴(9)方向正交的方向而延伸，且短边方向的中心部与铰链部(8)的短边方向上的范围重叠，第二基板片(7)的沿着铰链部(8)的长边方向的长度(L1)长于沿着铰链部(8)的短边方向的长度(L2)。

主权项

一种加速度传感器，其特征在于，包括：支承基板，其具备：固定用的第一基板片，所述第一基板片具有第一支承面；可动用的第二基板片，所述第二基板片与所述第一基板片并排配置，并具有第二支承面，且沿着与所述并排方向正交的方向的宽度大于沿着所述并排方向的宽度；铰链部，所述铰链部位于所述第一基板片和所述第二基板片之间且被连接于所述第一基板片和所述第二基板片上；加速度检测元件，其具备：加速度检测部，所述加速度检测部沿着所述正交的方向而延伸，且具有在俯视观察时与所述铰链部重叠的中心部；第一被固定部以及第二被固定部，所述第一被固定部以及所述第二被固定部分别被固定在所述第一支承面以及所述第二支承面上；梁，所述梁被连结于所述第一被固定部以及所述第二被固定部上，并对所述加速度检测部进行支承。