[发明专利]加速度传感器以及加速度检测装置

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：

支承基板，其具备：固定用的第一基板片，所述第一基板片具有第一支承面；可动用的第二基板片，所述第二基板片与所述第一基板片并排配置，并具有第二支承面，且沿着与所述并排方向正交的方向的宽度大于沿着所述并排方向的宽度；铰链部，所述铰链部位于所述第一基板片和所述第二基板片之间且被连接于所述第一基板片和所述第二基板片上；

加速度检测元件，其具备：加速度检测部，所述加速度检测部沿着所述正交的方向而延伸，且具有在俯视观察时与所述铰链部重叠的中心部；第一被固定部以及第二被固定部，所述第一被固定部以及所述第二被固定部分别被固定在所述第一支承面以及所述第二支承面上；梁，所述梁被连结于所述第一被固定部以及所述第二被固定部上，并对所述加速度检测部进行支承。

2.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，

在所述第二基板片的所述第二支承面以及所述第二支承面的相反侧的面中的至少一面上，配置有质量部。

3.如权利要求1或权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，

所述梁具备：第一梁，其对在俯视观察时，所述加速度检测部中的位于所述正交的方向上的一端部与所述第一被固定部进行连结；第二梁，其对所述加速度检测部中的位于所述正交的方向上的另一端部与所述第一被固定部进行连结；第三梁，其对所述一端部与所述第二被固定部进行连结；第四梁，其对所述另一端部与所述第二被固定部进行连结。

4.如权利要求1或权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第一基板片、所述第二基板片和所述铰链部以一体的方式被形成，并且所述第一基板片的所述第一支承面与所述第二基板片的所述第二支承面位于同一平面上。

5.如权利要求1或权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，

在俯视观察时，所述加速度检测部的沿着所述正交的方向的中心线与所述铰链部的沿着所述正交的方向的中心线重叠。

6.如权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第一梁至所述第四梁均为直线状，并且在所述第一被固定部处所述第一梁与所述第二梁之间所形成的角度、以及在所述第二被固定部处所述第三梁与所述第四梁之间所形成的角度分别为钝角。

7.如权利要求2或权利要求6所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第一梁至所述第四梁均为由单一或多个圆弧组合而成的圆弧状，并且所述第一梁与所述第二梁、以及所述第三梁与所述第四梁分别被连结成半圆状或半椭圆状。

8.如权利要求2或权利要求6所述的加速度传感器，其特征在于，

具备如下的结构，即，所述第一被固定部的至少一部分，在俯视观察时从所述第一梁与所述第二梁的交叉部朝向远离所述加速度检测部的方向而突出，并且所述第二被固定部的至少一部分，在俯视观察时从所述第三梁与所述第四梁的交叉部朝向远离所述加速度检测部的方向而突出。

9.如权利要求1或权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，

所述加速度检测部具备：沿着所述正交的方向而延伸的至少一个以上的振动梁；被连接于该振动梁的两端的一对基部。

10.一种加速度检测装置，其特征在于，具备：

权利要求1或权利要求2所述的加速度传感器；

振荡电路，其对所述加速度传感器的加速度检测元件进行激励；

计数器，其对所述振荡电路的输出频率进行计数；

集成电路，其具有对所述计数器的信号进行处理的运算电路。