[发明专利]SOI MOS晶体管无效
申请号: | 201210155009.0 | 申请日: | 2012-05-17 |
公开(公告)号: | CN102683417A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 李莹;毕津顺;罗家俊;韩郑生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06 |
代理公司: | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人: | 朱海波 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种SOI MOS晶体管,包括:形状连续的器件有源区,形成于SOI衬底的SOI层中;栅极,跨器件有源区延伸;源区和漏区,分别位于栅极两侧的器件有源区中;体接触有源区,独立于器件有源区,并且通过不到底隔离电连接到栅极之下的沟道区。本发明提供的SOI体接触MOS晶体管有利于抑制浮体效应,减小长沟道晶体管寄生电容和寄生电阻的影响,减小侧向泄漏电流。 | ||
搜索关键词: | soi mos 晶体管 | ||
【主权项】:
一种SOI MOS晶体管,包括:形状连续的器件有源区,形成于SOI衬底的SOI层中;栅极,跨器件有源区延伸;源区和漏区,分别位于栅极两侧的器件有源区中;体接触有源区,独立于器件有源区,并且通过不到底隔离电连接到栅极之下的沟道区。
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