[发明专利]一种节能型多晶硅还原炉的内胆顶部结构及其实施方法有效
| 申请号： | 201210142235.5 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN102674361A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 刘春江;段连;周阳;黄哲庆;段长春;袁希钢 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种节能型多晶硅还原炉的内桶顶部结构及其实施方法，内胆顶部为包括底板和顶板的双层结构，底板通过螺栓与内胆的内壁连接，顶板通过螺栓与内胆的外壁连接；内胆顶部均匀地布置出气管，出气管分布在顶板上，内胆顶部均匀地布置回气管，回气管分布在底板上。液态三氯氢硅通过排液管流到内胆的内壁上，在内胆顶部的底板和顶板之间的区域内通入高纯三氯氢硅液体；进入还原炉的气体经过反应后通过出气管排出，在内胆顶部的底板和顶板之间通入高纯三氯氢硅液体，还原炉运行过程中向内胆顶部辐射大量热量，液态高纯三氯氢硅受热后将挥发，挥发产生的气体通过回气管返回到还原炉内。解决了多晶硅还原炉内胆顶部温度过高以及不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能型 多晶 还原 内胆 顶部 结构 及其 实施 方法 | ||
【主权项】：
一种节能型多晶硅还原炉的内胆顶部结构，其特征为内胆顶部为包括底板（22）和顶板（23）的双层结构，底板（22）和顶板（23）的间距为100mm‑300mm，底板通过螺栓与内胆的内壁（20）连接，顶板（23）通过螺栓与内胆的外壁（21）连接；内胆顶部均匀地布置出气管（17），出气管（17）分布在顶板（23）上，内胆顶部均匀地布置回气管（18），回气管（18）分布在底板（22）上。
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