[发明专利]一种节能型多晶硅还原炉的内胆顶部结构及其实施方法

权利要求书

1.一种节能型多晶硅还原炉的内胆顶部结构，其特征为内胆顶部为包括底板（22）和顶板（23）的双层结构，底板（22）和顶板（23）的间距为100mm-300mm，底板通过螺栓与内胆的内壁（20）连接，顶板（23）通过螺栓与内胆的外壁（21）连接；内胆顶部均匀地布置出气管（17），出气管（17）分布在顶板（23）上，内胆顶部均匀地布置回气管（18），回气管（18）分布在底板（22）上。

2.如权利要求1所述的内胆顶部结构，其特征为内胆顶部底板的四周固定有排液管，排液管的分布呈环形。

3.如权利要求1所述的内胆顶部结构，其特征为出气管直径为10mm-100mm，出气管呈环形或者矩形规则分布。

4.如权利要求1所述的内胆顶部结构，其特征为回气管的直径为10mm-50mm，回气管呈环形或者矩形规则分布，回气管与多晶硅还原炉的反应区域相连通。

5.如权利要求1所述的节能型多晶硅还原炉的内胆顶部结构的实施方法，其特征是液态三氯氢硅通过排液管流到内胆的内壁上，在内胆顶部的底板和顶板之间的区域内通入高纯三氯氢硅液体；进入还原炉的气体经过反应后通过出气管排出，由于在内胆顶部的底板和顶板之间的区域内通入高纯三氯氢硅液体，还原炉运行过程中向内胆顶部辐射大量热量，液态高纯三氯氢硅受热后将挥发，挥发产生的气体通过回气管返回到还原炉内。