[发明专利]绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置有效
| 申请号： | 201210140815.0 | 申请日： | 2012-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102778594A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 大地隆广;宇田隆;前川贵史 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/12 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 杨暄 |
| 地址： | 日本国东京都武藏*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置，可以在短时间容易地且高精度地检查基板的周边部的残膜。绝缘测定用探针单元测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态。该绝缘测定用探针单元包括：面探针，其形成为与上述基板表面的周边部相同的形状，与周边部整体面状地接触以整个面导通；接点探针，其与上述基板表面的内侧部接触，所述绝缘测定用探针单元测定与上述面探针接触的上述基板表面的周边部、和与上述接点探针接触的上述基板表面的内侧部之间的绝缘状态。包括输送机构、检查平台、测定电路单元、升降机构等的绝缘测定装置上组装有上述绝缘测定用探针单元。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘 测定 探针 单元 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种绝缘测定用探针单元，其是用于测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态的绝缘测定用探针单元，其特征在于，所述绝缘测定用探针单元包括：面探针，其形成为与上述基板表面的周边部相同的形状，与周边部整体面状地接触以整个面导通；接点探针，其与上述基板表面的内侧部接触，所述绝缘测定用探针单元测定与上述面探针接触的上述基板表面的周边部、和与上述接点探针接触的上述基板表面的内侧部之间的绝缘状态。
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