[发明专利]绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置

权利要求书

1.一种绝缘测定用探针单元，其是用于测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态的绝缘测定用探针单元，其特征在于，

所述绝缘测定用探针单元包括：面探针，其形成为与上述基板表面的周边部相同的形状，与周边部整体面状地接触以整个面导通；

接点探针，其与上述基板表面的内侧部接触，

所述绝缘测定用探针单元测定与上述面探针接触的上述基板表面的周边部、和与上述接点探针接触的上述基板表面的内侧部之间的绝缘状态。

2.如权利要求1所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于，

上述面探针具有弹性，且至少与上述基板表面的周边部整体接触的面具有导电性。

3.如权利要求1所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于，

上述面探针由与上述基板表面的周边部的形状配合的环状的弹性构件、和卷绕在该弹性构件的周围的导电性构件构成。

4.如权利要求1所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于，

上述面探针由与上述基板表面的周边部的形状配合的环状的各向异性导电橡胶构成。

5.如权利要求1所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于，

在上述面探针的内侧面设有绝缘部。

6.如权利要求1所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于，

上述接点探针分别设在上述基板表面的内侧部的每个测定对象部位，各接点探针由固定栏一体地被支承。

7.如权利要求1所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于，

上述接点探针由能够伸缩的弹簧探针构成。

8.如权利要求7所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于，

上述面探针与接点探针一体地被支承的同时，上述接点探针的顶端部相对于上述面探针的接触面被设为更靠近上述基板表面侧，上述接点探针先与上述基板表面接触，然后上述面探针与上述基板表面接触。

9.一种绝缘测定装置，其特征在于，包括如下机构而构成：

绝缘测定用探针单元，其用于测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态；

输送机构，其将测定对象的基板输送到该绝缘测定用探针单元的下侧；

检查平台，其支承由该输送机构输送来的基板以检查该基板；

测定电路单元，其连接于上述绝缘测定用探针单元，测定上述基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态；

升降机构，其使上述检查平台上升或者使上述绝缘测定用探针单元下降，以使该绝缘测定用探针单元与上述基板表面接触。

10.如权利要求9所述的绝缘测定装置，其特征在于，

采用权利要求1至8中的任意一项所述的绝缘测定用探针单元，作为所述绝缘测定用探针单元。

11.如权利要求9所述的绝缘测定装置，其特征在于，

上述检查平台包括：搭载上述输送机构所输送来的基板的基板搭载部、对搭载于该基板搭载部的基板进行定位的基板定位机构，

上述基板搭载部包括承接由上述输送机构输送来的基板、并使其能够移动地进行支承的多个辊子，

上述基板定位机构包括：从上述多个辊子之间延伸出来而抵接于上述基板的边缘、对该基板进行定位的定位片。

12.如权利要求9所述的绝缘测定装置，其特征在于，

上述测定电路单元包括电源、和测定电气数值的测定器，

上述基板表面的内侧部的、并列的、多个被分割而成的各单元的长度方向的两端分别与接点探针接触，且并列的、多个单元中的最外侧的单元等间隔地分别与多个接点探针接触，

与上述基板表面的周边部接触的面探针和上述各接点探针之间连接有上述电源，且上述各接点探针分别连接有上述测定器，从而测定上述基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态。

13.如权利要求12所述的绝缘测定装置，其特征在于，

该绝缘测定装置由两个系统的测定电路构成，

分别与各单元的长度方向的一方端部接触的接点探针、与并列的多个单元中一方最外侧的单元等间隔地接触的多个接点探针作为一个系统，

分别与各单元的长度方向的另一方端部接触的接点探针、与并列的多个单元中另一方最外侧的单元等间隔地接触的多个接点探针作为一个系统。

14.如权利要求9所述的绝缘测定装置，其特征在于，

上述基板为太阳能电池板。