[发明专利]微型固体化学推进器

摘要

本发明公开了一种微型固体化学推进器，属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域。该采用硅片和耐热玻璃键合形成微型推进器，上层硅片1表面2内凹形成燃烧室4和喷嘴3；燃烧室4和喷嘴3连通处的喉部为曲率半径为R的圆弧；所述下层玻璃片7由耐热玻璃8和其上的点火电路结构组成。本发明的有益效果是：点火槽在硅表面呈直线形式，在相同的点火槽宽度和键合面积下，直线型点火槽使得硅玻键合难度降低；喉部为具有一定曲率半径的圆弧并使之与进气口、出气口的边界相切，减小气体边界层，提高器件的推力；采用多根电阻并联设计形式的点火器增大了与推进剂的接触面积，扩大加热区域，不因一根点火器的熔断致使整个器件功能失效，提高了点火器的可靠性。

主权项

微型固体化学推进器，包括键合的上层硅片（1）和下层玻璃片（7），其特征在于：所述上层硅片（1）表面（2）内凹形成燃烧室（4）和喷嘴（3）；燃烧室（4）和喷嘴（3）连通处的喉部为曲率半径为R的圆弧，喉宽r满足：r=R；燃烧室（4）相对两侧分别有直线形的下导线槽（5）和上导线槽（6）；下导线槽（5）和上导线槽（6）的深度小于燃烧室（4）和喷嘴（3）的深度；所述下层玻璃片（7）由耐热玻璃（8）和其上的点火电路结构组成，点火电路结构包括与燃烧室（4）相应位置处的点火器（9），点火器（9）为多根并联点火器；点火器（9）两端分别连有位于下导线槽（5）内的上点火导线（10）和位于上点火槽（6）内的下点火导线（11）；上点火导线（10）和下点火导线（11）与上层硅片（1）相应区域外的上焊盘（12）和下焊盘（13）连接；上点火导线（10）和下点火导线（11）的厚度小于下点火槽（5）和上点火槽（6）的深度，使得上层硅片（1）与下层玻璃片（7）上的点火器（9）、上点火导线（10）、下点火导线（11）、上焊盘（12）和下焊盘（13）非接触。