[发明专利]一种大面积沉积金刚石膜的热丝架及其制造方法

摘要

本发明涉及化学气相沉积金刚石膜领域，特别是热丝化学气相沉积装置中的热丝架及其制造方法。热丝架包括左钼电极（1），右钼电极（2），带凹槽销钉（3），弧形槽（4），弹簧架（5），外边条（6），若干根长度相等的灯丝（7），支持杆（8）及弹簧（9）。整个热丝架首先在沉积腔室外进行整体安装，所有灯丝布置完后，将整个灯丝阵列放入反应腔室中，左、右钼电极与四个带水冷铜电极支柱（10）进行连接；热丝架固定后，将两根支持杆（8）拆除，即可关闭腔室进行实验。发明可克服已有技术中的一些技术缺陷，提高热丝的利用率和稳定性，可用于制备大面积金刚石薄膜。

主权项

一种大面积沉积金刚石膜的热丝架制造方法，其特征在于，具体步骤如下：1.1整个热丝架首先在沉积腔室外进行整体安装；先通过两根支撑杆（8）将左钼电极（1）和右钼电极（2）进行固定；未安装弹簧的弹簧架（5）通过陶瓷绝缘片与右钼电极（2）进行连接，整个弹簧架平面与水平呈30度夹角；在左钼电极（1）上等间距布置一排带凹槽销钉（3），凹槽口背对右钼电极（2）；右钼电极（2）上具有弧型槽（4），弧型槽（4）与销钉（3）分布规律相同，且弧型槽（4）底部与销钉（3）的凹槽水平一致；钽或钨材质的灯丝（7）依据需要剪成长度相等的灯丝段若干根，然后在两头拧出圆环状；灯丝一端套在带凹槽销钉（3）上，另一端跨过右钼电极（2）后与弹簧（9）一端连接，弹簧（9）另一端通过钩连接在外边条（6）的相应孔上，外边条（6）上的孔与弧型槽（4）和销钉（3）分布规律相同，从而完成固定；1.2所有灯丝布置完后，将整个灯丝阵列放入反应腔室中，左、右钼电极与四个带水冷铜电极支柱（10）进行连接；热丝架固定后，将两根支持杆（8）拆除，即可关闭腔室进行实验。