[发明专利]一种具有振荡模块的微机电系统装置有效
| 申请号： | 201210129066.1 | 申请日： | 2012-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN103185574A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 苏中源;黄肇达;林士杰;许郁文 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 祁建国;梁挥 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微机电系统装置，其包括设置于第一框架内的双感测质量块，而能同时感测双轴的角速度。再者，具有振荡模块的微机电系统装置亦凭借将两个振荡模块连接在杠杆结构的两端，而使其运动时让两个振荡模块达到彼此同步且反向的运动模式。此外，具有振荡模块的微机电系统装置亦凭借连接在感测质量块与移动电极间的弹簧组件，而限制感测质量块仅能以特定方向驱动移动电极。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 振荡 模块 微机 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种微机电系统装置，用于检测双轴角速度，其特征在于，该微机电系统装置包括：至少一振荡模块，包括：一第一框架，沿一第二轴向来回振荡；一第三框架，位在该第一框架内；一第一感测质量块，位在该第三框架内；数个扭转梁，分别连接该第一感测质量块与该第三框架；以及数个第一弹簧，分别沿一第一轴向连接该第一框架与该第三框架，其中该第一轴向与该第二轴向相互垂直。
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