[发明专利]一种具有振荡模块的微机电系统装置

权利要求书

1.一种微机电系统装置，用于检测双轴角速度，其特征在于，该微机电系统装置包括：

至少一振荡模块，包括：

一第一框架，沿一第二轴向来回振荡；

一第三框架，位在该第一框架内；

一第一感测质量块，位在该第三框架内；

数个扭转梁，分别连接该第一感测质量块与该第三框架；以及

数个第一弹簧，分别沿一第一轴向连接该第一框架与该第三框架，其中该第一轴向与该第二轴向相互垂直。

2.如权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，还包括：

至少一杠杆；

该至少一杠杆的一端连接一该振荡模块并且该至少一杠杆的另一端连接另一该振荡模块，且该两个振荡模块凭借该杠杆而沿该第二轴向进行方向相反的振荡。

3.如权利要求2所述的微机电系统装置，其特征在于，还包括：

数个缓冲弹簧；

该两个振荡模块分别透过该缓冲弹簧连接至该杠杆的相对应两端。

4.如权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，还包括：

至少一杠杆；

至少一基座；

至少一第一弹簧组件，该至少一第一弹簧组件包括：

数个弹性体，分别连接该至少一杠杆与该至少一基座；以及

一支架，被这些弹性体、该至少一杠杆、及该至少一基座所围绕；

该至少一振荡模块连接至该至少一杠杆的一端且该至少一杠杆被该支架的至少一部分所连接且每一这些弹性体分别被该支架的另外至少一部分所连接。

5.如权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，还包括：

至少一移动电极；

数个限制弹簧，连接该至少一移动电极与该至少一基座，且各该些限制弹簧沿该第二轴向的刚性大于其沿该第一轴向的刚性；

至少一第二弹簧组件，越过该第一框架而连接该第三框架及该至少一移动电极，该第二弹簧组件包括：

至少一第四弹簧，沿该第二轴向配置；

至少一可移动连杆，其一端连接该至少一第四弹簧，其中该至少一可移动连杆的移动方向，与该至少一移动电极的移动方向相同。

6.如权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于这些扭转梁沿偏心轴连接该第一感测质量块，而使该第一感测质量块成为一非平衡感测质量块。

7.如权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于该第一感测质量块为一第二框架，且这些扭转梁沿偏心轴连接该第二框架，而使该第二框架成为一非平衡感测质量块。

8.如权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于这些扭转梁沿中心轴连接该第一感测质量块，且该第一感测质量块的密度相对于其中心轴呈不对称分布，而使该第一感测质量块成为一非平衡感测质量块。

9.如权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于这些扭转梁沿中心轴连接该第一感测质量块，且在相对于其中心轴一侧的该第一感测质量块的局部具有至少一穿孔，而使该第一感测质量块成为一非平衡感测质量块。

10.如权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于这些扭转梁沿中心轴连接该第一感测质量块，且该第一感测质量块的外形轮廓相对其中心轴呈不对称分布，而使该第一感测质量块成为一非平衡感测质量块。

11.如权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于这些扭转梁沿中心轴连接该第一感测质量块，且该第一感测质量块相对其中心轴具有不同厚度，而使该第一感测质量块成为一非平衡感测质量块。

12.一种微机电系统装置，用于控制振荡单元的位移方向，其特征在于，包括：

至少一基座；

至少一杠杆；

至少一第一弹簧组件，其包括：

两个弹性体，各该些弹性体分别连接该至少一杠杆与该至少一基座；

至少一支架，连接该至少一杠杆与这些弹性体，以及；

二个振荡单元，其中一该振荡单元连接该至少一杠杆的一端，且其中另一该振荡单元连接该至少一杠杆的另一端。

13.如权利要求12所述的微机电系统装置，其特征在于该至少一支架，被该二个弹性体、该至少一杠杆与该至少一基座所围绕且该至少一杠杆被该至少一支架的至少一部分所连接且每一这些弹性体分别被该至少一支架的另外至少一部分所连接。