[发明专利]化学气相沉积系统

摘要

本发明揭露一种化学气相沉积系统，尤指一种可快速冷却其加热器的化学气相沉积系统，包含一反应腔体、一载盘、一加热器及一支撑座，其中冷却气体可经由支撑座中的冷却气体通道及出气孔喷出，藉以快速冷却加热器及其周边元件。

主权项

一种化学气相沉积系统，其特征在于，包含：一反应腔体；一载盘，设置于该反应腔体中，具有一第一表面及一相对于该第一表面的第二表面，该第一表面用以承载至少一基板；一加热器，设置于该反应腔体中并面向该第二表面，用以加热该至少一基板；及一支撑座，用以支撑该载盘，其中，该支撑座中设有一冷却气体通道，且该支撑座上设有至少一出气孔，该至少一出气孔位于该第二表面的同一侧，并连通该冷却气体通道以供一冷却气体流通。