[发明专利]一种溅射挡板有效
| 申请号： | 201210120764.5 | 申请日： | 2012-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN103374702A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 施玉安;李炳坤 | 申请（专利权）人： | 上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种溅射挡板，包括一具有内腔的溅射腔体，并且所述溅射腔体内腔的底端面具有轴承座，其中，在所述溅射腔体内腔的侧端面以及内腔底端面的轴承座上分别设有若干冷却水管，所述轴承座的所述冷却水管上连接有沿横向设置的溅射板，所述内腔侧端面的所述冷却水管上连接有沿纵向设置的溅射板，并且沿纵向设置的所述溅射板靠近所述轴承座垂直弯折，同时，相对两侧端面的所述溅射板相互连接。使用本发明一种溅射挡板，由于溅射挡板与冷却水管通过软管相连接，使得每次溅射挡板拿去喷沙的时候，只需要单独把溅射挡板拆卸下来，等溅射挡板喷沙完成后，将溅射挡板安装上去即可，有效地减少了连接冷却水管和检漏的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 挡板 | ||
【主权项】：
一种溅射挡板，包括一具有内腔的溅射腔体，并且所述溅射腔体内腔的底端面具有轴承座，其特征在于，在所述溅射腔体内腔的侧端面以及内腔底端面的轴承座上分别设有若干冷却水管，所述轴承座的所述冷却水管上连接有沿横向设置的溅射板，所述内腔侧端面的所述冷却水管上连接有沿纵向设置的溅射板，并且沿纵向设置的所述溅射板靠近所述轴承座垂直弯折，同时，相对两侧端面的所述溅射板相互连接。
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