[发明专利]一种溅射挡板

说明书

技术领域

本发明涉及一种挡板，尤其涉及一种用于磁控反应的溅射挡板。

背景技术

图1为现有的一种溅射挡板的主视图，图2为现有的一种溅射挡板的剖视图，请参见图1和图2所示。在磁控反应溅射过程中，为防止溅射材料溅射到腔体内壁上，在阴极位的地方需要布置溅射挡板21和22，溅射材料落到溅射挡板21和22上，会把自身的能量转化为热量，引起溅射挡板21和22温度升高，这时为了把溅射挡板21和22热量带走，溅射挡板21和22底部下都会铺设冷却水管11和12形成冷却回路，冷却回路中通一定温度的循环水，通过冷却水的不停循环，从而实现把溅射挡板21和22上的热量带走。以往的溅射挡板21和22整个框架式，冷却水管11和12以及溅射挡板21和22固定在框架上，框架安装的时候，靠自身重力压紧密封圈来密封，然后外部冷却水用快插头连接到框架引出的快插头上去。这样的结构就产生这些问题：结构过于复杂，制造成本高，每次吊起框架的时候都要断开冷却水管11和12，每次吊落的时候都要进行检漏，而且卡套接头容易由于框架的碰撞而发生漏水。这就增加操作人员的劳动强度和设备的易损性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于磁控反应的溅射挡板，以解决现有结构复杂，制造成本高，操作人员检漏劳动强度大以及设备易损性的问题。

为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种溅射挡板，包括一具有内腔的溅射腔体，并且所述溅射腔体内腔的底端面具有轴承座，其中，在所述溅射腔体内腔的侧端面以及内腔底端面的轴承座上分别设有若干冷却水管，所述轴承座的所述冷却水管上连接有沿横向设置的溅射板，所述内腔侧端面的所述冷却水管上连接有沿纵向设置的溅射板，并且沿纵向设置的所述溅射板靠近所述轴承座垂直弯折，同时，相对两侧端面的所述溅射板相互连接。

上述的一种溅射挡板，其中，所述冷却水管与所述溅射腔体内腔侧端面的连接处还具有连接板，所述连接板固设于所述溅射腔体内腔的侧端面，所述冷却水管与所述连接板连接。

上述的一种溅射挡板，其中，所述溅射腔体内腔侧端面的所述溅射板包括上部溅射板、下部溅射板和连接溅射板，所述上部溅射板通过螺栓等连接件固设在所述内腔侧端面的所述连接板的上部；所述下部溅射板通过螺栓等连接件固设在所述内腔侧端面的所述冷却水管的下部，并且所述下部溅射板靠近所述内腔的底端面垂直弯折；所述连接溅射板连接相对两侧端面的所述下部溅射板，并且所述连接溅射板通过螺栓等连接件固设于所述内腔侧端面的所述冷却水管上。

上述的一种溅射挡板，其中，所述上部溅射板、所述下部溅射板和所述连接溅射板覆盖于所述溅射腔体内腔的侧端面以及内腔的底端面。

上述的一种溅射挡板，其中，所述上部溅射板、所述下部溅射板和所述连接溅射板分别通过软管与所述溅射板内腔侧端面的所述冷却水管相连接。

上述的一种溅射挡板，其中，沿横向设置的所述溅射板位于所述连接溅射板的下方。

上述的一种溅射挡板，其中，沿横向设置的所述溅射板通过软管与所述轴承座的所述冷却水管相连接。

上述的一种溅射挡板，其中，所述冷却水管与所述轴承座的连接处还具有支撑管，所述支撑管固设于所述轴承座上，所述冷却水管与所述支撑管连接。

本发明由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：

由于本发明的溅射挡板与冷却水管通过软管相连接，使得每次溅射挡板拿去喷沙的时候，只需要单独把溅射挡板拆卸下来，等溅射挡板喷沙完成后，将溅射挡板安装上去即可，有效地减少连接冷却水管和检漏的步骤。

附图说明

图1是现有的一种溅射挡板的主视图；

图2是现有的一种溅射挡板的剖视图；

图3是本发明的一种溅射挡板的主视图；

图4是本发明的一种溅射挡板的剖视图；

图5是本发明的一种溅射挡板的俯视图。

附图中：1.溅射腔体； 11.冷却水管； 12.冷却水管； 13.内腔； 14.轴承座； 21.溅射板； 22.溅射板； 221.上部溅射板； 222.下部溅射板； 223.连接溅射板； 3.连接板； 4.支撑管。

具体实施方式

以下结合附图给出本发明一种溅射挡板的具体实施方式。