[发明专利]一种溅射挡板

权利要求书

1.一种溅射挡板，包括一具有内腔的溅射腔体，并且所述溅射腔体内腔的底端面具有轴承座，其特征在于，在所述溅射腔体内腔的侧端面以及内腔底端面的轴承座上分别设有若干冷却水管，所述轴承座的所述冷却水管上连接有沿横向设置的溅射板，所述内腔侧端面的所述冷却水管上连接有沿纵向设置的溅射板，并且沿纵向设置的所述溅射板靠近所述轴承座垂直弯折，同时，相对两侧端面的所述溅射板相互连接。

2.根据权利要求1所述溅射挡板，其特征在于，所述冷却水管与所述溅射腔体内腔侧端面的连接处还具有连接板，所述连接板固设于所述溅射腔体内腔的侧端面，所述冷却水管与所述连接板连接。

3.根据权利要求2所述溅射挡板，其特征在于，所述溅射腔体内腔侧端面的所述溅射板包括上部溅射板、下部溅射板和连接溅射板，所述上部溅射板通过螺栓等连接件固设在所述内腔侧端面的所述连接板的上部；所述下部溅射板通过螺栓等连接件固设在所述内腔侧端面的所述冷却水管的下部，并且所述下部溅射板靠近所述内腔的底端面垂直弯折；所述连接溅射板连接相对两侧端面的所述下部溅射板，并且所述连接溅射板通过螺栓等连接件固设于所述内腔侧端面的所述冷却水管上。

4.根据权利要求3所述溅射挡板，其特征在于，所述上部溅射板、所述下部溅射板和所述连接溅射板覆盖于所述溅射腔体内腔的侧端面以及内腔的底端面。

5.根据权利要求3所述溅射挡板，其特征在于，所述上部溅射板、所述下部溅射板和所述连接溅射板分别通过软管与所述溅射板内腔侧端面的所述冷却水管相连接。

6.根据权利要求3所述溅射挡板，其特征在于，沿横向设置的所述溅射板位于所述连接溅射板的下方。

7.根据权利要求6所述溅射挡板，其特征在于，沿横向设置的所述溅射板通过软管与所述轴承座的所述冷却水管相连接。

8.根据权利要求1所述溅射挡板，其特征在于，所述冷却水管与所述轴承座的连接处还具有支撑管，所述支撑管固设于所述轴承座上，所述冷却水管与所述支撑管连接。