[发明专利]一种大尺寸蓝宝石晶体生长炉无效
申请号: | 201210115496.8 | 申请日: | 2012-04-19 |
公开(公告)号: | CN103374753A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 李荣华 | 申请(专利权)人: | 吴江亿泰光伏设备有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/00;C30B15/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215200 江苏省吴*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种大尺寸蓝宝石晶体生长炉,籽晶安装室设置于加热筒体上方,抽真空组件连通加热筒体,加热筒体内腔为密封腔体,升降电机设置于支架上方,升降直线导轨设置于升降电机下方的支架内并与升降电机通过联轴器连接,升降电机旋转带动升降直线导轨内滑块升降,旋转电机固定座设置于升降直线导轨上并与升降直线导轨内的滑块连接,旋转电机安装在旋转电机固定座上,籽晶安装杆连接旋转电机;上炉盖和下炉盖分别设置于双层水冷桶体上下两端形成密封的腔体,坩埚设置于腔体内,加热系统设置于坩埚外侧,籽晶安装杆伸入加热筒体坩埚内。本装置实现了自动控制操作,提高了引晶的效率并且也增强了引晶的效果,能够生产出来大尺寸蓝宝石晶体。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 蓝宝石 晶体生长 | ||
【主权项】:
一种大尺寸蓝宝石晶体生长炉,包括籽晶安装室、加热筒体和抽真空组件,所述籽晶安装室设置于加热筒体的上方,所述抽真空组件连通加热筒体,所述加热筒体内腔为密封腔体,其特征在于,所述籽晶安装室包括支架、升降电机、升降直线导轨、旋转电机固定座、旋转电机和籽晶安装杆,所述升降电机设置于支架上方,升降直线导轨设置于升降电机下方的支架内并与升降电机通过联轴器连接,升降电机旋转带动升降直线导轨内的滑块升降,旋转电机固定座设置于升降直线导轨上并与升降直线导轨内的滑块连接,旋转电机安装在旋转电机固定座上,籽晶安装杆连接旋转电机,所述加热筒体包括双层水冷桶体、上炉盖、下炉盖、坩埚和加热系统,所述上炉盖和下炉盖分别设置于双层水冷桶体的上下两端形成密封的腔体,所述坩埚设置于腔体内,所述加热系统设置于坩埚的外侧,所述籽晶安装杆伸入加热筒体的坩埚内。
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