[发明专利]掩膜及其制造方法

摘要

本发明公开一种掩膜及其制造方法。掩膜包括一透明基板以及一图案化玻璃胶层。透明基板具有一图案区以及一非图案区。图案化玻璃胶层位于图案区的部分为透光状态，且位于非图案区的部分是不透光状态。本发明更提出一种掩膜的制造方法。首先，提供一透明基板，透明基板具有一图案区以及一非图案区。接着，在透明基板上配置一玻璃料层。再来，固化玻璃料层，以形成不透光的一玻璃胶层。最后，将位于图案区的玻璃胶层转换为透光状态，以形成一图案化玻璃胶层。本发明的掩膜及其制造方法可减少化学药剂的使用量、降低成本并且简化制造流程。

主权项

一种掩膜的制造方法，其特征在于，包括：提供一透明基板，该透明基板具有一图案区以及一非图案区；在该透明基板上配置一玻璃料层；固化该玻璃料层，以形成一玻璃胶层，其中该玻璃胶层是不透光状态；以及将位于该图案区的该玻璃胶层转换为透光状态，以形成一图案化玻璃胶层。