[发明专利]一种制备晶体硅太阳能电池沉积减反射薄膜的方法

摘要

本发明提供了一种制备晶体硅太阳能电池沉积减反射薄膜的方法，包括以下步骤：在反应装置中充入氮气，将反应装置中的温度升至反应温度；在预反应压强下，以恒定流量向反应装置中充入氨气，在反应装置中发射预反应射频，使其保持一段时间；预反应压强不变、反应射频下，向反应装置中充入硅烷，使氨气与硅烷以第一流量比进入反应装置，持续沉积120-200s；预反应压强、反应射频均不变，再次向反应装置中充入硅烷，使氨气与硅烷以流量比为8∶1-10∶1的比例进入反应装置中，持续沉积500-700s。本方法使氮化硅减反射薄膜的钝化和减反射效果均得到了提高，并最终实现了提高太阳能电池片的光电转换效率。

主权项

一种制备晶体硅太阳能电池沉积减反射薄膜的方法，用于在太阳能电池片上制备氮化硅减反射薄膜，其特征在于，包括以下步骤：1)在反应装置中充入氮气，并将反应装置中的温度升至反应温度；2)在预反应压强下，向所述反应装置中持续充入氨气，并在反应装置中持续发射预反应射频；3)所述预反应压强不变，发射反应射频的情况下，向反应装置中持续充入硅烷，使氨气与硅烷以第一流量比进入反应装置中，并持续沉积120‑200s以得到第一层氮化硅减反射薄膜；4)所述预反应压强和所述反应射频均不变的情况下，再次向反应装置中持续充入硅烷，使氨气与硅烷以流量比为8∶1‑10∶1的比例进入反应装置中，并持续沉积500‑599s以得到第二层氮化硅减反射薄膜。