[发明专利]宽孔径维恩ExB质量过滤器有效
| 申请号： | 201210107965.1 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102737938A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | D.塔格尔;N.W.帕克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;李家麟 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及宽孔径维恩ExB质量过滤器。一种ExB维恩质量过滤器提供与质量分离所需的偶极电场组合的可独立调整的电场。可独立调整的电场可以用于提供更大的光学孔径、校正像散并将波束偏转至与磁场平行和/或垂直的方向。 | ||
| 搜索关键词： | 孔径 exb 质量 过滤器 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束过滤器，包括：第一电极集合，用于提供过滤器内的第一电场；磁极集合，用于提供过滤器内且与所述电场垂直的磁场；电阻性导体集合；以及所述电阻性导体中的每一个上的第二电极集合，所述第二电极集合中的每一个使电流在对应的电阻性导体上流动以在对应的电阻性导体上产生电势梯度，两个电阻性导体一起提供过滤器内的第二电场方向，第二电场具有与第一电场方向不平行的分量。
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