[发明专利]宽孔径维恩ExB质量过滤器

权利要求书

1.一种带电粒子束过滤器，包括：

第一电极集合，用于提供过滤器内的第一电场；

磁极集合，用于提供过滤器内且与所述电场垂直的磁场；

电阻性导体集合；以及

所述电阻性导体中的每一个上的第二电极集合，所述第二电极集合中的每一个使电流在对应的电阻性导体上流动以在对应的电阻性导体上产生电势梯度，两个电阻性导体一起提供过滤器内的第二电场方向，第二电场具有与第一电场方向不平行的分量。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束过滤器，其中所述电阻性导体集合包括所述磁极集合。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束过滤器，其中所述电阻性导体集合包括附着至磁极的层集合。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束过滤器，其中所述电阻性导体集合包括通过绝缘层附着至磁极的层集合。

5.根据前述权利要求中任一项所述的带电粒子束过滤器，其中所述磁极集合中的每一个磁极延伸至所述第一电极集合中的电极之外。

6.根据前述权利要求中任一项所述的带电粒子束过滤器，其中除任何消像散或偏转场以外，沿第一电场极的电场方向的每个坐标处的物理孔径中的电势和磁极的内表面上的每个点处的电势相同。

7.根据前述权利要求中任一项所述的带电粒子束过滤器，其中所述第二电场是与所述磁场平行定向的偶极场。

8.根据前述权利要求中任一项所述的带电粒子束过滤器，其中所述第二电场是四极场。

9.一种聚焦离子束镜筒，包括：

离子源；

第一透镜，用于从所述源接收离子；

根据前述权利要求中任一项所述的质量过滤器；以及

第二透镜，用于将离开所述质量过滤器的离子聚焦到工件表面上。

10.根据权利要求9所述的聚焦离子束镜筒，其中所述离子源是等离子体离子源。

11.根据权利要求9所述的聚焦离子束镜筒，其中所述离子源是液态金属离子源。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的聚焦离子束镜筒，还包括第二质量过滤器，所述第二质量过滤器校正来自第一质量过滤器的色差。

13.一种对离子进行过滤的方法，包括：

在过滤区中提供第一电场的源；

在所述过滤区中提供磁场的源，所述磁场与所述电场垂直；

在所述过滤区中提供第二电场的源，所述第二电场具有与所述磁场平行的分量，所述第二电场的源是能够与所述第一电场的源无关地调整的；以及

通过所述过滤区来导向具有各种荷质比的离子，以分离具有不同荷质比的离子。

14.根据权利要求13所述的方法，其中在所述过滤区中提供第二电场的源包括：在作为所述磁场的源的一部分的磁极靴上提供电流。

15.根据权利要求13所述的方法，其中在所述过滤区中提供第二电场的源包括：在附着至作为所述磁场的源的一部分的磁极靴的电阻性导体上提供电流。

16.根据权利要求13所述的方法，其中在所述过滤区中提供第二电场的源包括：提供电场以偏转离子束。

17.根据权利要求13至16中任一项所述的方法，其中在所述过滤区中提供第二电场的源包括：提供第二电场，所述第二电场形成用于校正离子束的消像散的四极场的一部分。