[发明专利]一种高压LED芯片及其制备方法无效
申请号: | 201210087191.0 | 申请日: | 2012-03-29 |
公开(公告)号: | CN103367610A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 陈万世 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;H01L33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种高压LED芯片及其制备方法,所述芯片包括衬底,衬底之上依次形成的缓冲层、n型氮化物层、发光层和p型氮化物层,所述p型氮化物层上刻蚀有多个凹槽,所述凹槽的深度至n型氮化物层;所述凹槽底部的部分区域刻蚀有沟槽以形成间隔排列的微晶,所述沟槽的深度至衬底;所述沟槽及相邻微晶的侧壁上设有钝化层,所述微晶的p型氮化物层上形成有电流扩散层;所述钝化层上覆盖有连接凹槽底部与相邻微晶电流扩散层的导电层,所述电流扩散层上及相邻微晶之间覆盖有荧光粉层。本发明通过在高压LED芯片表面涂覆一层浓度及厚度均匀、表面平整的荧光粉层,保证了高压LED芯片出光的均匀性,提高了高压LED芯片的出光效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 高压 led 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种高压LED芯片,包括衬底,衬底之上依次形成的缓冲层、n型氮化物层、发光层和p型氮化物层,其特征在于,所述p型氮化物层上刻蚀有多个凹槽,所述凹槽的深度至n型氮化物层;所述凹槽底部的部分区域刻蚀有沟槽以形成间隔排列的微晶,所述沟槽的深度至衬底;所述沟槽及相邻微晶的侧壁上设有钝化层,所述微晶的p型氮化物层上形成有电流扩散层;所述钝化层上覆盖有连接凹槽底部与相邻微晶电流扩散层的导电层,所述电流扩散层上及相邻微晶之间覆盖有荧光粉层。
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