[发明专利]一种半导体薄膜材料的真空蒸发设备及OLED导电层的制备方法无效
| 申请号： | 201210086981.7 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103361603A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 杨耀武;苏晓燕;苏怡 | 申请（专利权）人： | 常熟卓辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体薄膜材料的真空蒸发设备，包括真空室和蒸发器，蒸发器下方设置有主动轴和从动轴，主动轴带动基材通过蒸发器下的蒸发区，并对通过蒸发区基材进行卷取，通过蒸发区的基材只需要卷在主动轴上便可，不需要反复的打开真空室来拿出基材，提高镀膜的效率。本发明还公开了制备OLED导电层的方法，其包括以下步骤：(1)将OLED基材卷在从动轴上，基材穿过托辊与冷却辊之间，然后连接在主动轴上；(2)对真空室进行抽真空，保持真空度30-50Pa；(3)开启蒸发器；(4)启动电机带动主动轴，保持基材匀速行走；(5)主动轴在带动OLED基材行走的同时，对OLED基材进行卷取；(6)蒸发完毕时，关闭蒸发器及主动轴电机，开启真空室，取出基材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 薄膜 材料 真空 蒸发 设备 oled 导电 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体薄膜材料的真空蒸发设备，包括真空室(1)和真空室(1)内的蒸发器(7)，其特征在于：所述蒸发器(7)下方设置有主动轴(2)和从动轴(3)，所述主动轴(2)带动从动轴(3)上的半导体薄膜材料基材(8)通过蒸发器(7)下的蒸发区，并对通过蒸发区的半导体薄膜材料基材(8)进行卷取。
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