[发明专利]一种硅片金相试样的制备方法无效
| 申请号： | 201210064168.X | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102607916A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 王风振;宫龙飞 | 申请（专利权）人： | 苏州协鑫工业应用研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32;G01N1/36 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片金相试样的制备方法，它包括如下步骤：(1)将亚克力树脂粉和液态固化剂按使用说明配比混匀，添加两者总重量的5～25％有机溶剂，混匀，制成冷镶剂；(2)将硅片放置在硅胶冷镶模具底部，其上浇铸步骤(1)制得的冷镶剂，固化；(3)对固化后的金相试样进行抛光、腐蚀处理；其中，所述的有机溶剂为乙醇、乙二醇或异丙醇。本发明的优点在于能够制备超薄、易碎硅片的金相试样，获得材料清晰的位错等组织形貌，避免了超薄硅片在镶样及磨抛过程中出现翘曲、破碎等现象，解决了超薄硅片微划痕难以去除的问题，成功的制备超薄硅片的金相试样。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 金相 试样 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片金相试样的制备方法，其特征在于，它包括如下步骤：(1)将亚克力树脂粉和液态固化剂按使用说明配比混匀，添加两者总重量的5～25％有机溶剂，混匀，制成冷镶剂；(2)将硅片放置在硅胶冷镶模具底部，其上浇铸步骤(1)制得的冷镶剂，固化；(3)对固化后的金相试样进行抛光、腐蚀处理；其中，所述的有机溶剂为乙醇、乙二醇或异丙醇。
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