[发明专利]微机电系统及其制造方法有效
| 申请号： | 201210061957.8 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102674235A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 斋藤友博 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 杨谦;胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS及其制造方法。该MEMS包括：设置在基板上的第1电极；第1辅助构造体，与上述第1电极相邻地设置在上述基板上，处于电浮置状态；和第2电极，设置在上述第1电极和上述第1辅助构造体的上方，被向上述第1电极的方向驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统，其特征在于，包括：设置在基板上的第1电极；第1辅助构造体，与上述第1电极相邻地设置在上述基板上，处于电浮置状态；和第2电极，设置在上述第1电极和上述第1辅助构造体的上方，被向上述第1电极的方向驱动。
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