[发明专利]一种用于蓝宝石单晶生长的高纯氧化铝烧结体的制备方法

摘要

一种用于蓝宝石单晶生长的高纯氧化铝烧结体的制备方法，以高纯氧化铝为原料用造粒机制备氧化铝颗粒，放入盛料坩埚里，通过高频等离子加热装置对氧化铝颗粒烧结，得到高纯氧化铝烧结体。其优点是：高纯氧化铝在造粒、烧结过程中不引入其他杂质，不需添加粘结剂，避免了二次污染；采用高频等离子加热装置，设备成本低，生产效率高，避免了炉体的保温材料和发热材料的挥发物对氧化铝的污染；制得氧化铝烧结体堆积密度为3.7g/cm3～4.1g/cm3，纯度为99.999%～99.9999%，为泡生法生长蓝宝石单晶提供原料，可得到高品质和低缺陷密度的蓝宝石晶体。

主权项

一种用于蓝宝石单晶生长的高纯氧化铝烧结体的制备方法，其特征是：1.1高纯氧化铝造粒以高纯氧化铝为原料，所述的高纯氧化铝纯度≥99.999%，杂质的含量Fe＜0.0006%、Si＜0.0005%、Zr＜0.0001%、Cu＜0.0001%、K＜0.0001%、Na＜0.0001%；用造粒机制备粒径为1mm～6mm，密度为2.0g/cm3～3.0g/cm3的氧化铝颗粒，所述的造粒机与原料接触部件均采用99.99%的氧化铝烧结陶瓷结构或钢芯外涂覆99.99%氧化铝涂层结构；1.2氧化铝颗粒烧结用99.99%的氧化铝烧结的陶瓷坩埚或涂覆99.99%氧化铝涂层的坩埚作为盛料坩埚，将制得的氧化铝颗粒放入盛料坩埚里，通过高频等离子加热装置使坩埚中的氧化铝颗粒升温至1850℃～2100℃对氧化铝颗粒烧结，烧结时间为30min～50min，停止加热，坩埚自然冷却，得到纯度为99.999%～99.9999%高纯氧化铝烧结体。